Sputteranlage Typ Leybold Z 400

-Generalüberholt-

Die Sputteranlage ist mit folgenden Komponeten ausgerüstet:

• 3 Sputterkathoden Typ PK 75
• 1 Substratheizung
• Substrathandling per handbetätigter Schleuse 
• 3 Durchflussregler für  Prozessgas 
• Pumpsystem  Kessel Vorpumpe  Leybold Trivac D16BCS/  Leybold Turbovac 450
• Hochvakuumventil zwischen Turbopumpe und Kessel (Handbetätigt)
• Vorpumpe Schleuse  Leybold Trivac D8B
• Rf Sputter power supply  Dressler Cesar 133 (300 W) inkl. Matching
• Schichtdickenmessgerät Inficon XTC/2