Sputteranlage Typ Leybold Z 400
-Generalüberholt-
Die Sputteranlage ist mit folgenden Komponeten ausgerüstet:
- 3 Sputterkathoden Typ PK 75
- 1 Substratheizung
- Substrathandling per handbetätigter Schleuse
- 3 Durchflussregler für Prozessgas
- Pumpsystem Kessel Vorpumpe Leybold Trivac D16BCS/ Leybold Turbovac 450
- Hochvakuumventil zwischen Turbopumpe und Kessel (Handbetätigt)
- Vorpumpe Schleuse Leybold Trivac D8B
- Rf Sputter power supply Dressler Cesar 133 (300 W) inkl. Matching
- Schichtdickenmessgerät Inficon XTC/2