Sputteranlage Typ Leybold Z 400

 

-Generalüberholt-

 

Die Sputteranlage ist mit folgenden Komponeten ausgerüstet:

 

  • 3 Sputterkathoden Typ PK 75
  • 1 Substratheizung
  • Substrathandling per handbetätigter Schleuse 
  • 3 Durchflussregler für  Prozessgas 
  • Pumpsystem  Kessel Vorpumpe  Leybold Trivac D16BCS/  Leybold Turbovac 450
  • Hochvakuumventil zwischen Turbopumpe und Kessel (Handbetätigt)
  • Vorpumpe Schleuse  Leybold Trivac D8B
  • Rf Sputter power supply  Dressler Cesar 133 (300 W) inkl. Matching
  • Schichtdickenmessgerät Inficon XTC/2

Die Anlage ist betriebsbereit und kann in Friedberg besichtigt werden

 
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