Anlagenbau
load lock Beschichtungsanlage Typ Z 600 zur horizontalbeschichtung
SenVac verfügt über mehr als 30 Jahre Erfahrung im Bau unterschiedlichster Sputter- und Aufdampfanlagen für Industrie und Forschung
Sputteranlage Typ Z 590 mit vollautomatischem Roboter- Substrahandling
- Inline oder Loadlock sputtern
- Aufdampfen per Elektronenstrahl- und Widerstandsverdampfer
- Vollautomatisierte Produktion
- Anlagen für Entwicklung
- Neuentwicklungen gemäß Kundenspezifikation
Aufdampfanlage mit Elektronenstrahlverdampfern
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