Anlagenbau

load lock Beschichtungsanlage Typ Z 600 zur horizontalbeschichtung

SenVac verfügt über mehr als 30 Jahre Erfahrung im Bau unterschiedlichster Sputter- und Aufdampfanlagen für Industrie und Forschung

Sputteranlage Typ Z 590 mit vollautomatischem Roboter- Substrahandling
  • Inline oder Loadlock sputtern
  • Aufdampfen per Elektronenstrahl- und Widerstandsverdampfer
  • Vollautomatisierte Produktion
  • Anlagen für Entwicklung
  • Neuentwicklungen gemäß Kundenspezifikation
Aufdampfanlage mit Elektronenstrahlverdampfern

 

 

 

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